金融界2024年12月2日音讯,国家知识产权局信息数据显现,湖北江城芯片中试服务有限公司获得一项名为“一种晶圆的夹持固定装置”的专利,授权公告号CN 222071921 U,请求日期为2024年4月。
专利摘要显现,本实用新型供给一种晶圆的夹持固定装置,触及半导体制作技术领域,该夹持固定装置包含支架、吸附卡盘和多个夹持顶针,吸附卡盘用于吸附晶圆,且吸附卡盘具有通孔;支架支撑夹持顶针,且夹持顶针可以穿过通孔顶升夹持晶圆;其间,夹持顶针包含支撑部和限位部,支撑部用于支撑晶圆,至少部分限位部的旁边面可以与晶圆的旁边面相触摸,用于夹持晶圆。经过结构的改善可以有很大成效防止晶圆呈现滑片的问题,然后防止晶圆的损坏。
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